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卓锐微推出ACT2100型MEMS加速度传感器

发布时间:2018-08-12 15:05热度()我要投稿
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导读:日前,北京卓锐微技术有限公司推出ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器。该系列加速度传感器采用先进的SOI体硅工艺制

  日前,北京卓锐微技术有限公司推出ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器。该系列加速度传感器采用先进的SOI体硅工艺制造,并基于卓锐微技术第二代Cery2000高精度MEMS加速度传感器专用接口芯片进行信号调理。其应用领域包括地震勘探和钻探、惯性导航和制导、振动测量、倾斜测量等工业领域。在地震勘探领域中,通过使用加速度传感器来替换传统的速度传感器,可以在低频和高频获得更好的信噪比,从而有效提升成像质量。

  由于采用创新的设计理念以及MEMS-ASIC一体化设计方法,卓锐微技术的ACT2100-3加速度传感器在提供±3g量程的同时,噪声本底小于2ug/sqrt(Hz),工作带宽大于900Hz。其ACT2100-50系列更是拥有高达114dB的信噪比(100Hz带宽)和3KHz的工作带宽。目前卓锐微技术正在完善ACT2100系列的其它产品线,预计在2009年第四季度覆盖包括3g/10g/50g/100g/400g等不同量程范围。

  ACT2100系列采用5V标准电压供电,典型功耗为10mA,其差分输出范围为±4V,可驱动长达150米电缆。LCC48的封装使得ACT2100系列在承受机械冲击以及环境温度变化时保证良好的真空密封性。小型化封装使得ACT2100可在空间/体积/重量受限的应用中实现高精度的加速度信号检测。

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